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XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪
关键字： 作者：

XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪

型号：XP-703D（自动吸引式）
半导体特气检漏仪

点击查看原图

特点：

¬   最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
¬   采用声光报警。
规 格
型       号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）
砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气
AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2
0.2     0.3     0.1        0.5        1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内

（阅读次数：）
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