Hiden RGA 系列残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)用于对真空诊断的精确分析，进行过程中产生气体的分析。

  · 残余气体或泄漏检测
  · 实质泄漏或脱附分析
  · 除气研究
  · 烘烤周期
  · 泵效能
  · 腔室/过程气体污染物
特点：

· 灵敏度PPM,质量数至300amu
   · 稳定性（24小时以上，峰高变化小于±0.5%）
   · MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
   · 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
   · 混合模式扫描，多个窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰
   · 同步显示数据图，列表
   · 同步背景扣除，自动质量数列表
   · 数据输出为ASCII格式，至windows设备
   · 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如
        Excel、SPC-IV统计过程控制软件等